CMP Ống kim loại sóng (CMP)
2026-10-21Lượt xem:
Trong quy trình CMP, cần lọc các sản phẩm có dải kích thước hạt rộng, giữ lại các hạt hiệu dụng để mài, đồng thời loại bỏ các hạt kích thước lớn có thể làm xước bề mặt. Xét đến yêu cầu nghiêm ngặt về khả năng chặn hạt của lõi lọc, cần giải phóng càng nhiều hạt hiệu dụng càng tốt để chặn hiệu quả các hạt kích thước lớn.







